真空泵(把封闭空间内抽至预定真空度的一种泵) 南光真空泵厂家专业从事真空泵研发生产销售安装

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真空泵厂家介绍超高真空系统的暗转调试

作者:南光泵业 来源:浙江南光泵业有限公司 发布于:2017-10-2 16:12:02
  真空系统安装到位后,全无油涡轮分子泵机组对系统进行粗抽,同时用高灵敏度氦质谱检漏仪(vari-an公司,最小可检漏率≤1×10-9pal/s)对系统进行检漏。确认无漏后,用特制的烘烤外套包裹各真空室。烘烤过程由计算机控制。每小时升温30℃,烘烤温度250℃,保温时间40h,然后再以30℃/h的速度降温。烘烤产生的热胀冷缩在直线段问题不大,一般都会回到原位。但对于二极铁真空室这样的曲线段能否回位还需要进行测试。烘烤前,在二极铁真空室及两端波纹管上放置了5个千分表以测量烘烤过程中各点的位移。列出了温度在250℃时和温度降回到室温时各点的位移数据。从表上数据可以看出,由于波纹管的力量不足以推动二极铁真空室,在温度降到室温时,二极铁真空室没有回到起始位置。

  为保证二极铁真空室的位置精度,需要设计一个回位装置,在每次烘烤结束时,用该装置将二极铁真空室推回原位。在烘烤过程中,对规管、质谱计灯丝多次除气,同时用27-29a的电流对钛升华泵各灯丝循环除气三叶罗茨真空泵。烘烤中期,启动溅射离子泵。保温结束时关闭全金属密封插板阀,切断粗抽系统。烘烤结束后,真空度很快上升到10-8pa,此时将4台钛升华泵灯丝电流调到48a,对应电压约5v,让灯丝升华1.5min.开始时由于蒸发热使系统真空度下降,但很快好转。

  此后在这台样机上多次重复抽空、烘烤过程,检测各种数据,并不断改进烘烤控制程序。从真空度测试结果看重复性非常好。超高真空实验室的建立及实验工作csr超高真空实验室使用面积约500m2,罗茨水环真空机组其中超净室面积约70m2。实验室有2个10-10pa的实验样机,为csr真空系统的设计、加工方案的确定、疑难问题的研究和解决提供了良好的条件,同时可以完成超高真空环境下的各种实验。还有2套泵抽速和极限真空测试系统(dn150、dn200)和1套规管校准系统。利用超高真空实验室,我们做了如下工作。

  试安装、调试各真空元件建立大面积的超高真空实验室,主要目的是在相对洁净的环境中试安装、调试各真空元器件。目前已有120余米约200件真空室及设备在这里安装、调试过。其中有csr注入线真空系统的所有元器件,也有兰州重离子加速器(hirfl)真空系统改造的管道及设备。在完成安装、检漏、烘烤(一般至少2个循环)后,测试真空度指标,达到指标后,再运到现场总装。
超高真空系统
关键词:超高真空系统
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