罗茨真空泵（简称罗茨泵）是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工作范围的不同，又分为直排大气的低真空罗茨泵；中真空罗茨泵（又称机械增压泵）和高真空多级罗茨泵。一般来说，罗茨泵具有以下特点：

在较宽的压强范围内有较大的抽速； 

起动快，能立即工作； 

对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感； 

转子不必润滑，泵腔内无油； 

振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀； 

驱动功率小，机械摩擦损失小； 

结构紧凑，占地面积小； 

运转维护用度低。 

因此，罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、电子产业部分得到广泛的应用。

罗茨泵的工作原理：

罗茨泵的结构如图所示。在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了进步泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸进到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边沿，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中往，负气体压强忽然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。

如图为罗茨泵转子由0°转到180°的抽气过程。在0°位置时（图中a），下转子从泵进口封进v0体积的气体。当转到45°位置时（图中b），该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时（图中c），下转子封进的气体，连同返冲的气体一起排向泵外。这时，上转子也从泵进口封进v0体积的气体。当转子继续转到135°时（图中d），上转子封进的气体与排气口相通，重复上述过程。180°（图e）位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。